干式真空泵的应用范围

干式真空泵是指泵能从大气压力下开始抽气，又能将被抽气体直接排到大气中去，泵腔内无油或其它的介质，而且泵的极限压力与油封式真空泵同等量级或者接近机械真空泵。

在真空泵行业，目前大多数真空泵都是用油跟水以及其它聚合物充当泵的介质，它们的主要作用是润滑、冷却和密封。但是真空泵以及组成的抽气系统出现了以下亟待解决的问题：1、泵的工作介质反流污染被抽的容器，最直接的后果就是会影响产品质量，增加泵的后期维护的成本；2、在工艺过程中的反应物质使得泵内的介质变质，从而导致泵体无法正常工作。这是目前面临的两个主要问题。

使用干式真空泵可以达到非常好的效果，那么干式真空泵的应用范围有哪些方面呢，下面就重点介绍一下它的应用范围：

（1）干式真空泵适合用于化学工业、医药工业、食品工业中的蒸馏、干燥、脱泡、包装等，防止有机溶剂造成污染；

（2）低压化学气相沉积中的多晶硅制备工艺；

（3）半导体的刻蚀工艺，这些生产工艺往往用到腐蚀性气体和研磨微粒；

（4）除半导体工艺外的某些产生微粒的工艺，在这些工艺中，不希望微粒混入油泵中，而是排出泵外，用干式真空泵可以解决；

（5）用做一般无油清洁真空系统的前级泵，以防止油污染。