螺杆真空泵工作原理

工作原理

干式螺杆真空泵利用高速旋转的一对螺杆，将吸入的气体排出泵外，从而形成真空。螺杆端面型线是由近似阿基米德曲线、摆线、和圆弧曲线构成，螺杆与螺杆之间，

螺杆与泵腔间始终保持设定的间隙，避免任何金属与金属间的接触，电机连接方式是直连或皮带连接。为了便于安装与拆卸，齿轮，联轴器均采用胀紧套连接.

结构螺杆转子螺杆转子是螺杆真空泵的核心部件，设计难度大，材质要求高，加工设备要精密。本公司螺杆转子材质为合金球磨铸铁，加工设备为专用的高精度螺杆转子数控铣。

同步齿轮

同步齿轮是干式螺杆真空泵非常重要的部件，齿轮表面经过严格热处理，并用高精度的磨齿机磨光以减少运行时的噪声。

轴承

固定端（排气口）是向心推力球轴承，伸缩端（进气口）是高负载能力的滚珠轴承。这些轴承用于高速，高负载的运行，以保证齿轮之间以及转子之间有精确的间隙。

结构材料

技术参数

1、上表中的油量仅供参考，具体油量以实际添加为准。请注意含氟和矿物质的油也是可用的。

2、以上所列的冷却水量是在水温20℃基础上的。当使用后置冷却装置时冷却水量是要变化的。

管路图

螺杆真空泵泵体和前后盖有水冷夹套，运行时需要通水冷却，水冷方式有单程水冷和循环水冷两种形式。

单程水冷

单程水冷即冷却水保持一次性通过，不经过循环使用，冷却水进水管路需装有流量开关和流量计，出水管路需装温度传感器或温度开关，检测冷却水流量和出水温

度。

空气-水散热器

这种装置是一种风冷装置，并且冷却水可以循环利用，离心泵是冷却水在真空泵到风扇散热器之间循环。流量指示器、流量开关安装在冷却水供应管道处，温度计（或

温控开关）安装在冷却水的排出管路上，一间空冷却水流量和冷却水温度。

                                                            图2 

吹扫

冷却吹扫

冷却吹扫用于冷却泵体内部和螺杆转子。泵运转时，转子旋转使得被抽气体进入泵腔并被压缩到排气端，由于热压缩，气体温度会迅速升高，为了防止热量积累，使

泵被损坏，这些热量必须立即排除。

通常使用大气中的空气吹扫，当被抽工艺气体不适合用空气吹扫时，就要采用其他的冷却介质比如氮气，清洁的干燥空气等。对于标准的泵，在靠近泵腔排气侧则装

有空气过滤器。

注意：

◆吹扫压力：进口压力低于150Torr 时，吹扫压力为大气压，进口压力高于150Torr时，吹扫压力不得低于0.5 ㎏/㎝ 2g

◆气体流量：冷却吹扫的流量(m3/h),取决于进气口压力。

密封处吹扫（气障）

根据应用需要，螺杆真空泵可以选择密封处吹扫，如果您的系统被指定需要密封处吹扫，那是为了在泵的前端盖和/或后端盖与泵腔有一个压力差，从而确保前端盖

处的润滑油和/或后端盖处的润滑脂不受流程介质污染，吹扫的气体应当不会影响润滑油、润滑脂和流程介质，如：氮气，氩气等惰性气体。

驱动端的前盖和非驱动端端盖各有两个吹扫预留口，吹扫的气体可以来自一个气源。密封吹扫压力应低于0.5kg/㎡ g（7.11psig），机械密封的漏率应低于3cc/hr（5.3

×10-6CFM）极限承受压力为3Kg/㎝ 2g(42.7psig).如不是绝对需要，我们不建议在非驱动端处进行密封吹扫，非驱动端密封吹扫会增加气体流量，因此会提高入口压力，如果您需要密封吹洗请咨询厂家以获得进一步的帮助。

注意：

◆密封吹洗压力：最大值0.5 ㎏/㎝ 2（7.11psig）。

◆密封吹扫气体流量（L/min）

开机/停机（清洗）吹扫

开机/停机（清洗）吹扫是为了在泵运行前或运行后排出泵内残留的工艺气体或一些不兼容的物质，如水汽，大气等。开机/停机（清洗）吹扫采用的气体必须是不

影响被抽介质的气体或惰性气体，如氮气、氩气。当被抽气体为腐蚀性气体，毒性气体或者是树脂类的聚合物时，启动/停止（清洗）吹扫则更为重要。

开机（清洗）吹扫：关闭进气口主阀门，启动泵并向泵内通入吹扫气体20-30 分钟，以清除泵内残留气体，在开机（清洗）吹扫结束时，进气口的隔离主阀必须打

开，然后开始抽工艺气体。

停机（清洗）吹扫：在工艺抽气工作结束时，关闭进气主阀，在泵连续运行情况下，向泵内通入吹扫气体20-30 分钟，以清除泵内的残留工艺气体，清洗完毕后应立

即关闭电机而此时主阀门仍然必须保持关闭状态。

注意：

1、开机/停机（清洗）吹洗都要持续20-30 分钟，这种清洗工作无论是在开始工艺运行以前和工艺运行结束以后都要将主阀关闭。

2、密封吹洗压力：最大值0.5/㎝ 2g（7.11psig）。

3、流量L/min